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专利详情
一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉
申请号：
2016100829451
申请公布号：
CN105543954B
申请日：
2016-02-03
申请公布日：
2017-12-08
申请（专利权）人：
重庆博视知识产权服务有限公司
专利代理机构：
自营(400-008-2859)
分类号：
C30B28/06
专利介绍
本发明公开了一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉，包括装配于铸锭炉内用于向炉内输送载气的引流装置，还包括用于加热载气的加热装置，所述加热装置的输出端和引流装置的输入端相连通，输入端和载气的输气管连通。冷载气先经加热装置加热后形成温度较高的热载气，该热载气经引流装置吹射坩埚内的硅料；减少吹射区域液态硅的过冷度，降低甚至消除了液态硅中由载气所促进的杂质形核以及杂质核生长。
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